（1）有限元網格劃分。伺服行星減速機內齒輪材料為45鋼，調制處理，許用接觸應力為690MPa；行星輪材料為40Cr鋼，調制處理，對兩個齒輪進行單元劃分，同時指定ElementSize為3mm，用接觸單元CONTACT174對內齒輪和行星輪的嚙合接觸齒廓進行劃分，用目標單元TARGE170對行星輪與內齒輪的嚙合齒廓進行劃分，共生成102801個SOLID187單元，1202個CONTACT174單元和893個TARGE170單元。
 

    （2）載荷與邊界條件。內齒輪外圓柱面施加固定約束，伺服行星減速機行星輪既作自轉又作公轉，所以，在小齒輪的內圓柱面上施加一個圓柱面約束，并且設定其徑向和切向為自由，同時，施加一個大小為518.590Nm的力矩。
 

    伺服行星減速機嚙合接觸等效應力所示（380倍的放大圖），齒輪嚙合很大接觸應力的變化情況。齒輪減速機表明，齒輪的接觸應力在接觸點時達到很大值，很大值為209.64MPa，小于齒輪的許用接觸應力值，從而驗證所建模型的正確性。